射频离子源

射频离子源,又称RF源,是离子束辅助镀膜的最理想方式,改善和提升电子束蒸发镀膜品质的最有效方式。是车载镜头镀膜、手机镜头镀膜和高阈值薄膜指标最重要的配置之一。

我司开发的射频离子源,已被万华和舜宇等公司验证和应用。

我司射频离子源性能媲美进口离子源。以下是测试数据:在同一台镀膜机上的同一位置,在同一真空度和同一功率参数条件下,用法拉第电杯先后测试能流分布。
设备改造
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